Манипулятор

Манипулятор —

1. Машина или устройство для выполнения вспомогательных операций, связанных с изменением положения, с подачей и передвижением изделия при обработке или сборке.
2. Механизм, осуществляющий действия, аналогичные действиям руки человека.

[Захаров Б.В., Киреев В. С, Юдин Д.Л. Толковый словарь по машиностроению. Основные термины]

Манипулятор (подложкодержатель) — используется для крепления подложки, ее вращения и нагревания.

Встроенный в манипулятор нагреватель обеспечивает предварительный прогрев образца для очистки его от грязи и сгона защитного слоя окисла. Во время работы нагреватель поддерживает постоянную температуру подложки, при которой происходит миграция адсорбированных атомов осаждаемого вещества по поверхности (диффузия). Тем самым обеспечивается процесс самосборки, то есть формирования атомарно гладких монослоев. Скорость роста определяется потоком вещества на поверхность. При малых потоках получаются очень гладкие плёнки с четкими гетерограницами. Однако из-за длительности процесса повышается вероятность загрязнения поверхности, что приводит к появлению дефектов в итоговой структуре. При большем потоке, монокристаллическая плёнка не растёт, а получается поликристаллическая или аморфная.

[Нанохимия. Князев А.В., Кузнецова Н.Ю. Электронное учебное пособие. – Нижний Новгород: Нижегородский госуниверситет, 2010. – 102 с]

Манипулятор (manipulator) — машина, механизм которой обычно состоит из последовательности сегментов. Сегменты могут быть соединены, а могут перемещаться относительно друг друга. Они могут захватывать и (или) перемещать объекты (заготовки или инструменты) с некоторой степенью свободы.

Примечание 1. Манипулятор может управляться оператором, программируемым электронным контроллером или логической системой (например, кулачковым устройством, проводным устройством и т.п.).

Примечание 2. В состав манипулятора рабочий орган робота не включается.

[ГОСТ Р ИСО 8373-2014. Роботы и робототехнические устройства. Термины и определения]