Микроскопия атомно-силовая

Микроскопия атомно-силовая (atomic force microscopy; scanning force microscopy (deprecated)  — метод исследования объекта с помощью микроскопа, формирующего изображение объекта в результате регистрации силы взаимодействия зондового датчика (кантилевера) с поверхностью объекта в процессе сканирования.

Примечания.

1. С помощью АСМ можно исследовать объекты из проводниковых и диэлектрических материалов.
2. В процессе работы в некоторых атомно-силовых микроскопах (АСМ) перемещают образец в направлении осей х, у, z, а кантилевер остается неподвижным, в других АСМ перемещают кантилевер, оставляя неподвижным образец.
3. С помощью АСМ можно выполнять измерения в вакуумной, жидкой или контролируемой газовой средах, и исследовать объекты с атомарным разрешением в зависимости от образца, размера кантилевера и кривизны его острия, а также соответствующих настроек для получения изображений.
4. С помощью АСМ в процессе сканирования регистрируют силы, действующие на кантилевер, например продольные и поперечные силы, силы трения и сдвига. Методы АСМ имеют наименования в зависимости от регистрируемой силы, например поперечно-силовая микроскопия. Термин «атомно-силовая микроскопия» является общим термином для всех понятий методов силовой микроскопии.
5. АСМ регистрирует в конкретных точках силы, действующие на кантилевер со стороны поверхности объекта, и из массива пикселей генерирует изображение объекта.
6. Для исследования нанообъектов применяют АСМ с эффективным радиусом острия кантилевера менее 100 нм. В зависимости от материала исследуемого объекта суммарная сила между острием и объектом должна быть приблизительно 0,1 мкН, в противном случае может произойти необратимая деформация поверхности объекта и повреждение острия кантилевера.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нанообъектов и методы их определения. Термины и определения]