Микроскопия сканирующая, зондовая

Микроскопия сканирующая, зондовая (scanning probe microscopy) — метод исследования объекта с помощью микроскопа, формирующего изображение объекта путем механического перемещения зонда и регистрации взаимодействия между зондом и поверхностью объекта.

Примечания

1. Термин «сканирующая зондовая микроскопия» является общим термином для таких понятий, как «атомно силовая микроскопия» (АСМ), «сканирующая оптическая микроскопия ближнего поля» (СОМБП), «сканирующая микроскопия ионной проводимости» (СМИП) и «сканирующая туннельная микроскопия» (СТМ).
2. С помощью микроскопов, применяемых в различных методах СЗМ, можно получать изображения объектов с пространственным разрешением от атомарного, например в СТМ, до 1 мкм, например в сканирующей термо-микроскопии.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нанообъектов и методы их определения. Термины и определения]