Научные конференции
Энциклопедия
ISSN: 2587-9413 терминов, определений и пояснений строительных материалов

Сайт премиии им. Гришманова И.А.  Вестник науки и образования Северо-Запада России  Конкурс имени Ивана Федорова

Поддержать Энциклопедию
Основные строительные материалы
Сопутствующие теме термины и определения
Последнее обновление энциклопедии: 30.01.2024 - 09:34

Осаждение фокусированным ионным пучком

Рубрика: Наноматериалы/nanomaterial, Нанотехнологии/Nanotechnologies | ,

Осаждение фокусированным ионным пучком; ОФИП (focusedion-beamdeposition; FIB) — химическое осаждение из газовой фазы с применением фокусированного потока ионов для осаждения молекул исходного газообразного материала на заданных участках поверхности подложки.

Примечание. ОФИП применяют, например, для осаждения газообразного карбонила вольфрама W(CO). В вакуумной камере под воздействием ионного пучка газообразный карбонил вольфрама разлагают на летучие и нелетучие компоненты; нелетучий компонент, вольфрам, в результате химической адсорбции оседает на подложку. ОФИП применяют также для осаждения других металлических материалов, например платины. Осажденный таким способом металлический материал можно использовать в качестве временного слоя для защиты объекта от разрушающего воздействия ионного пучка.

[ГОСТ Р 56662-2015/ISO/TS 80004-8:2013 Нанотехнологии. Часть 8. Процессы нанотехнологического производства. Термины и определения]

286 просмотров


Правообладателям! В случае если свободный доступ к данному термину является нарушением авторских прав, составители готовы, по требованию правообладателя, убрать ссылку, либо сам термин (определение) с сайта. Для связи с администрацией воспользуйтесь формой обратной связи.