Научные конференции
ISSN: 2587-9413 терминов, определений и пояснений строительных материалов

Сайт премиии им. Гришманова И.А.  Вестник науки и образования Северо-Запада России  Конкурс имени Ивана Федорова

Основные строительные материалы
Сопутствующие теме термины и определения
Последнее обновление энциклопедии: 30.01.2024 - 09:34

Травление реактивное ионное, глубокое

Травление реактивное ионное, глубокое; ГРИТ (deep reactive ion etching; DRIE) — процесс анизотропного травления, применяемый для получения на подложке структур, элементы которых имеют заданное соотношение геометрических размеров.

Пример — Отверстия и канавки с вертикальными стенками.

Примечание. К глубокому реактивному ионному травлению относят Бош-травление и криогенное травление.

[ГОСТ Р 56662-2015/ISO/TS 80004-8:2013. Нанотехнологии. Часть 8. Процессы нанотехнологического производства. Термины и определения]

329 просмотров


Правообладателям! В случае если свободный доступ к данному термину является нарушением авторских прав, составители готовы, по требованию правообладателя, убрать ссылку, либо сам термин (определение) с сайта. Для связи с администрацией воспользуйтесь формой обратной связи.