Спектрометр электронный (electron spectrometer) — устройство, предназначенное для определения числа электронов или регистрации их энергетических спектров в виде зависимости интенсивности электронного потока от кинетической энергии регистрируемых электронов.

Примечание. Термин «электронный спектрометр» может быть использован взамен термина «анализатор энергии электронов» или применен для понятия, обозначающего устройство, состоящее из нескольких узлов, включая анализатор энергии электронов и дополнительные функциональные электронно-оптические части. Термин «электронный спектрометр» также может быть применен для понятия, обозначающего измерительную систему (спектрометрическую установку), включающую анализатор энергии электронов, функциональные электронно-оптические части, источник возбуждения спектров излучения, электронный детектор, вакуумный насос, персональный компьютер с управляющей программой, обеспечивающей управление оборудованием, обработку и выдачу результатов измерений.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия в ультрафиолетовой и видимой областях спектра (UV-Visspectroscopy) — метод исследования объекта, основанный на изучении спектров электромагнитного излучения в видимом и ультрафиолетовом диапазонах длин волн.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия гамма-резонансная; мёссбауэровская спектроскопия — метод исследования объекта, основанный на эффекте резонансного поглощения без отдачи атомным ядром моноэнергетического гамма-излучения, испускаемого радиоактивным источником.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия инфракрасная, с преобразованием Фурье; Фурье-ИКС (Fourier transform infrared spectroscopy; FTIR) — метод исследования, основанный на регистрации спектра поглощения при облучении исследуемого объекта инфракрасным излучением с получением интерферограммы, обрабатываемой математическим методом, называемым преобразованием Фурье.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия комбинационного рассеяния света (Raman spectroscopy) — метод исследования энергетических уровней молекул вещества, основанный на явлении комбинационного рассеяния света.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия локально усиленного комбинационного рассеяния света; СЛУКР (tip enhanced Raman spectroscopy; TERS) — метод исследования объекта, основанный на облучении его поляризованным светом и анализе единичного активного участка поверхностно-усиленного комбинационного рассеяния света с помощью металлического зонда, расположенного в непосредственной близости от поверхности исследуемого объекта.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия оптическая (opticalspectroscopy) — метод исследования объекта, основанный на изучении спектров электромагнитного излучения в видимом, ультрафиолетовом или инфракрасном диапазонах длин волн.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия поверхностно-усиленного комбинационного рассеяния света; СПУКР (surface enhanced Raman spectroscopy; SERS) — метод исследования объекта, основанный на эффекте усиления явления комбинационного рассеяния света, проявляющемся благодаря молекулам или нано объектам, адсорбированным на металлической поверхности (подложке), имеющей неровности размером в нанодиапазоне, и облученным соответствующим светом.

Примечания.

1. Для получения эффекта усиления явления комбинационного рассеяния света нанообъекты должны быть адсорбированы на подложке из золота, серебра, меди или алюминия.
2. Для получения эффекта усиления явления комбинационного рассеяния света размеры неровностей поверхности должны быть более 10 нм.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия рентгеновская фотоэлектронная (X-ray photoelectron spectroscopy) —  метод исследования объекта с помощью электронного спектрометра, основанный на регистрации энергетических спектров фотоэлектронов и Оже-электронов , испускаемых с поверхности объекта, облученного рентгеновским излучением.

Примечание.  В лабораторных электронных спектрометрах для РФЭС рентгеновское излучение создается бомбардировкой мишени высокоэнергетическими электронами. Обычные материалы мишени — это магний (Mg) и алюминий (Al), обеспечивающие излучение фотонов с энергией 1253,6 и 1486,6 эВ соответственно. В настоящее время существуют электронные спектрометры, в которых используют мишени из других материалов. Также в РФЭС применяют источники синхротронного излучения.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия рентгеновская, поглощения (X-ray absorption spectroscopy) — метод исследования объекта, основанный на определении зависимости коэффициента поглощения объектом рентгеновского излучения от энергии падающего на него излучения.

Примечания.

1. РСП применяют для получения информации о локальной атомной и/или электронной структуре исследуемого объекта.
2. РСП подразделяют на следующие виды: спектроскопию тонкой структуры рентгеновского спектра поглощения (СТСРСП), спектроскопию около пороговой структуры рентгеновского спектра поглощения (СОСРСП) и спектроскопию протяженной тонкой структуры рентгеновского спектра поглощения (СПТСРСП).

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]