Криопанели

Криопанели — для улучшения вакуума и вымораживания не попавших на подложку молекул испаряемого вещества вокруг манипулятора установлены криопанели — емкости, заполненные жидким азотом. Также они используются для разделения молекулярных источников друг от друга по температуре.

Эпитаксия молекулярно-лучевая  является одним из эффективных методов создания гетероструктур, в частности таких как HEMT (High Electron Mobility Trasistor).

HEMT — полупроводниковый прибор, транзистор с высокой подвижностью электронов. Основные материалы для изготовления HEMT — GaAs и AlGaAs.

[Нано химия. Князев А.В., Кузнецова Н.Ю. Электронное учебное пособие. – Нижний Новгород: Нижегородский госуниверситет, 2010. – 102 с]