Спектроскопия характеристических потерь энергии электронами

Спектроскопия характеристических потерь энергии электронами; СХПЭЭ (electron energy loss spectroscopy; EELS) — метод исследования объекта с помощью электронного спектрометра, основанный на регистрации энергетических спектров неупруго рассеянных электронов, испускаемых моноэнергетическим источником и потерявших фиксированные порции энергии в процессе взаимодействия с объектом.

Примечания.

1. Значения энергетических спектров электронов, полученные с помощью СХПЭЭ, будут близки к значениям, полученным с помощью электронной Оже-спектроскопии (ЭОС) или рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС), а пики характеристических потерь энергии электронов расположены вблизи пика упруго отраженных электронов.
2. Значения энергетических спектров неупруго рассеянных электронов зависят от энергии электронного пучка, угла его падения на поверхность исследуемого объекта, угла рассеяния электронов и свойств исследуемого объекта.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]