Научные конференции
Энциклопедия
ISSN: 2587-9413 терминов, определений и пояснений строительных материалов

Сайт премиии им. Гришманова И.А.  Вестник науки и образования Северо-Запада России  Конкурс имени Ивана Федорова

Поддержать Энциклопедию
Основные строительные материалы
Сопутствующие теме термины и определения
Последнее обновление энциклопедии: 17.11.2024 - 16:06

Травление световым излучением

Рубрика: Нанотехнологии/Nanotechnologies | ,

Травление световым излучением; фотохимическое травление (light-assisted etching; photochemical etching) — процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки световым излучением.

Примечание. Методом травления световым излучением обрабатывают светочувствительные материалы в специальных условиях с применением химических веществ. Структура и форма получаемого изображения зависят от применяемого шаблона, через который облучают фоторезист, покрывающий подложку. Данный метод применяют, например, для получения требуемой структуры поверхности пористого кремния, обладающего люминесцентными свойствами.

[ГОСТ Р 56662-2015/ISO/TS 80004-8:2013 Нанотехнологии. Часть 8. Процессы нанотехнологического производства. Термины и определения]

491 просмотров


Правообладателям! В случае если свободный доступ к данному термину является нарушением авторских прав, составители готовы, по требованию правообладателя, убрать ссылку, либо сам термин (определение) с сайта. Для связи с администрацией воспользуйтесь формой обратной связи.