Научные конференции
Энциклопедия
ISSN: 2587-9413 терминов, определений и пояснений строительных материалов

Сайт премиии им. Гришманова И.А.  Вестник науки и образования Северо-Запада России  Конкурс имени Ивана Федорова

Поддержать Энциклопедию
Основные строительные материалы
Сопутствующие теме термины и определения
Последнее обновление энциклопедии: 17.11.2024 - 16:06

Травление фокусированным ионным пучком

Рубрика: Нанотехнологии/Nanotechnologies | ,

Травление фокусированным ионным пучком; ТФИП (focused ion-beametching; FIB — процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки потоком ионов, сфокусированным на заданном участке с помощью системы электростатических линз.

Примечания

  1. Травление осуществляют распылением материала с заданных участков подложки ионным пучком. Воздействуя ионным пучком на поверхность подложки, можно получить рельефное изображение. В процессе ТФИП получают изображения с разрешением от 1 до 100 нм.
  2. ТФИП относят к видам ионно-лучевого фрезерования.

[ГОСТ Р 56662-2015/ISO/TS 80004-8:2013 Нанотехнологии. Часть 8. Процессы нанотехнологического производства. Термины и определения]

451 просмотров


Правообладателям! В случае если свободный доступ к данному термину является нарушением авторских прав, составители готовы, по требованию правообладателя, убрать ссылку, либо сам термин (определение) с сайта. Для связи с администрацией воспользуйтесь формой обратной связи.