Тиснение; импринтинг (embossing; imprinting) — процесс получения рельефного изображения путем вдавливания шаблона с заданным рисунком в слой обрабатываемого материала.

[ГОСТ Р 56662-2015/ISO/TS 80004-8:2013 Нанотехнологии. Часть 8. Процессы нанотехнологического производства. Термины и определения]

Томография атомно-зондовая (atom-probe tomography) — метод исследования объекта с помощью масс-спектрометра, основанный на регистрации отдельных атомов или молекул, вылетающих из импульсно распыляемого нано волокна  (исследуемого объекта).

Примечание. При исследовании объекта методом атомно-зондовой томографии применяют позиционно-чувствительный детектор, позволяющий определить координаты ударения ионов, с помощью которых рассчитывают изначальное положение атомов на поверхности нано волокна.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Топохимия — раздел химии, изучающий твердофазные реакции, протекающие локально, в определённых участках твёрдого тела. Там же локализуется и твёрдая фаза продукта.

Этапы топохимических реакций:

1. образование отдельных молекул или элементарных ячеек продукта реакции на поверхности исходного вещества;

2. возникновение отдельных зародышей (ядер) фазы продукта реакции;
3. рост ядер вплоть до смыкания их, образование на поверхности исходного вещества сплошного продукта реакции;

4. рост сплошного слоя продукта реакции за счет сокращения объема и поверхности еще не прореагировавшего вещества.

Типичные сферы применения топохимии: выщелачивание горных пород, восстановление металлов из руд, обжиг, некоторые стадии фотографического процесса, химическое травление.

[Нано химия. Князев А.В., Кузнецова Н.Ю. Электронное учебное пособие. – Нижний Новгород: Нижегородский госуниверситет, 2010. – 102 с]

Точка квантовая (quantumdot) – кристаллическая наночастица, которая проявляет свои свойства в зависимости от размера благодаря квантовым эффектам конечных электронных состояний.

[ГОСТ ISO/TS 80004-2-2017. Нанотехнологии. Часть 2. Нанообъекты. Термины и определения]

Точка квантовая (quantum dot) — нано объект, линейные размеры которого по трем измерениям близки длине волны электрона в материале данного нано объекта и внутри которого потенциальная энергия электрона ниже, чем за его пределами, при этом движение электрона ограничено во всех трех измерениях.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нанообъектов и методы их определения. Термины и определения]

Точка квантовая — это трехмерная потенциальная яма для квантовой частицы, ограничивающая движение последней в трех направлениях, и имеющая размеры порядка длины волны де-Бройля квантовой частицы.

Физически точки квантовые могут быть реализованы в виде двойной гетеро структуры, в которой узко зонный полупроводник вставлен в матрицу широко зонного в виде малого включения. Тогда трехмерная квантовая яма (или точка квантовая) образуется для носителей заряда в области узко зонного полупроводника.

[Нано химия. Князев А.В., Кузнецова Н.Ю. Электронное учебное пособие. – Нижний Новгород: Нижегородский госуниверситет, 2010. – 102 с]

Точка квантовая — искусственные атомы или что-то способное ограничивать единственный электрон, или несколько, и в котором электроны занимают дискретные энергетические состояния подобно тому, как они были бы в атоме.

[Машины создания: Грядущая эра нанотехнологий. К. Эрик Дрекслер, Марвином Мински, издательство Энкор Букс (AnchorBooks), 1987 г.]

Травление анизотропное (anisotropic etching) — процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки, происходящий в вертикальном направлении со скоростью выше, чем в горизонтальном направлении.

[ГОСТ Р 56662-2015/ISO/TS 80004-8:2013. Нанотехнологии. Часть 8. Процессы нанотехнологического производства. Термины и определения]

Травление жидкостное (wet etching) — процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки под действием жидких химических веществ.

[ГОСТ Р 56662-2015/ISO/TS 80004-8:2013 Нанотехнологии. Часть 8. Процессы нанотехнологического производства. Термины и определения]

Травление избирательное (selective etching) — процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки, происходящий с различной скоростью на разных участках поверхности с различным химическим составом.

Пример. Водные растворы под воздействием высокочастотных электромагнитных полей удаляют с подложки оксид кремния SiO и не удаляют кремний.

[ГОСТ Р 56662-2015/ISO/TS 80004-8:2013 Нанотехнологии. Часть 8. Процессы нанотехнологического производства. Термины и определения]

Травление изотропное (isotropic etching) — процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки, происходящий с одинаковой скоростью по всем пространственным направлениям.

[ГОСТ Р 56662-2015/ISO/TS 80004-8:2013. Нанотехнологии. Часть 8. Процессы нанотехнологического производства. Термины и определения]

Травление индуктивно связанной плазмой; ТИСП (inductive coupled plasma; ICP)  — плазменное травление с применением источника индуктивно связанной плазмы, в котором происходит образование плазмы внутри разрядной камеры, горелки или иного реактора при приложении высокочастотного переменного магнитного поля.

[ГОСТ Р 56662-2015/ISO/TS 80004-8:2013. Нанотехнологии. Часть 8. Процессы нанотехнологического производства. Термины и определения]

Травление ионно-лучевое; ионно-лучевое фрезерование (ion beam etching; ion beam milling) — процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки потоком ионов, полученным с помощью источника плазмы.

[ГОСТ Р 56662-2015/ISO/TS 80004-8:2013 Нанотехнологии. Часть 8. Процессы нанотехнологического производства. Термины и определения]