Камера вакуумная — камера создаётся из нержавеющего сплава высокой чистоты. Для обеспечения вакуума в камере, перед работой ее прогревают до высоких температур. При этом происходит дегазация поверхности.

[Нано химия. Князев А.В., Кузнецова Н.Ю. Электронное учебное пособие. – Нижний Новгород: Нижегородский госуниверситет, 2010. – 102 с]

Камера вакуумная — одно из средств, с помощью которого осуществляется вакуумная калибровка.

[Словарь полимерных терминов и сокращений. (Электронный ресурс). Режим доступа: http://plastinfo.ru›Информация/, свободный]

Кантилевер (англ. cantilever— консоль) — устоявшееся название наиболее распространенной в сканирующей атомно-силовой микроскопии конструкции микромеханического подвижного зонда, которая служит для измерения отклонения зонда и позволяет изучать диэлектрические материалы.

[Машины создания: Грядущая эра нанотехнологий. К. Эрик Дрекслер, Марвином Мински, издательство Энкор Букс (AnchorBooks), 1987 г.]

Капсула наноструктурированная (nanostructured capsule) — капсула с оболочкой толщиной от 1 до 100 нм, предназначенная для того, чтобы в нее помещать, удерживать, переносить или высвобождать вещество.

[ГОСТ Р 56085-2014/ISO/TS 80004-4:2011 Нанотехнологии. Часть 4. Материалы наноструктурированные. Термины и определения]

Квант (лат. quantus — сколько) — неделимая часть материи. Например, квант света — элементарная часть (порция) света, то же, что фотон. В основе понятия лежит представление о том, что любая физическая величина может принимать только определенные, а не произвольные значения (то есть физическая величина квантуется).

[Машины создания: Грядущая эра нанотехнологий. К. Эрик Дрекслер, Марвином Мински, издательство Энкор Букс (AnchorBooks), 1987 г.]

Кеврал — синтетическое волокно, созданное компанией E. I. du Pont Nemours & Co. Прочнее большинства сталей, Кевлар — один из самых прочных материалы доступных на рынке, используемый в аэрокосмическом конструировании, пуленепробиваемых жилетах и других случаях, когда требуется высокое отношение прочности к весу.

[Машины создания. Дрекслер K. Эрик, издательство Энкор Букс (Anchor Books), 1987 г.]

Кислота рибонуклеиновая —  молекула, подобная ДНК. В клетках информация из ДНК расшифровывается в РНК, которые, в свою очередь, «читаются», чтобы направить построение белка. Некоторые вирусы используют РНК как свой генетический материал.

[Машины создания: Грядущая эра нанотехнологий. К. Эрик Дрекслер, Марвином Мински, издательство Энкор Букс (AnchorBooks), 1987 г.]

Классификатор дифференциальной электрической подвижности частиц; КДЭП (differential electrica lmobility classifier; DEMC) — устройство, распределяющее аэрозольные частицы по размерам в соответствии с их электрической подвижностью и регистрирующее частицы только определенных размеров.

Примечание. Принцип распределения частиц по размерам в КДЭП основан на уравновешивании электрического заряда каждой частицы с силой ее аэродинамического сопротивления при прохождении через электрическое поле. Электрическая подвижность частиц зависит от их размеров, режимов работы и формы КДЭП. Размер частицы можно определить по числу зарядов на ней.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Классификация пара по физическим характеристикам:

1) Аэрозольно поддерживаемый CVD (англ. Chemical vapor deposition (AACVD)) — CVD-процесс в котором прекурсоры транспортируются к подложке с помощью жидкогазового аэрозоля, который может создаваться ультразвуком.

2) CVD с прямой инжекцией жидкости (англ. Direct liquid injection chemical vapor deposition (DLICVD)) — CVD-процесс, при котором прекурсор подаётся в жидкой фазе (в чистом виде либо растворённым в растворителе).

Жидкость впрыскивается в камеру через инжектор. Данная технология позволяет достигать высокой производительности формирования плёнки.

[Нано химия. Князев А.В., Кузнецова Н.Ю. Электронное учебное пособие. – Нижний Новгород: Нижегородский госуниверситет, 2010. – 102 с]

Кластер (англ. duster— объединение) — совокупность двух или более однородных элементов (атомов или молекул), которая может рассматриваться как самостоятельная единица, обладающая определенными свойствами.

[Машины создания: Грядущая эра нанотехнологий. К. Эрик Дрекслер, Марвином Мински, издательство Энкор Букс (AnchorBooks), 1987 г.]