Насос турбомолекулярный (turbo-molecular pump) — молекулярный насос, на валу ротора которого закреплены диски с прорезями или лопатками.

Примечание. Диски ротора вращаются между соответствующими дисками статора. Линейная скорость периферической точки ротора того же порядка, что и скорость молекул газа. Турбомолекулярный насос работает нормально, если имеются условия молекулярного потока.

[ГОСТ Р 52615-2006 (ЕН 1012-2:1996) Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы]

Насос молекулярный (molecular drag pump) — вакуумный насос, в котором молекулам газа в результате их соприкосновения с поверхностью высокоскоростного ротора сообщается скорость, заставляющая их двигаться в направлении выхода насоса.

[ГОСТ Р 52615-2006 (ЕН 1012-2:1996) Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы]

Насос магнитный, электроразрядный (sputter ion pump) — геттерно-ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле.

[ГОСТ Р 52615-2006 (ЕН 1012-2:1996) Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы]

Насос геттерный (getter pump) — вакуумный насос, действие которого основано на явлении хемосорбции откачиваемого газа геттером.

Примечание. Геттер — вещество, поглощающее газы.

[ГОСТ Р 52615-2006 (ЕН 1012-2:1996) Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы]

Крионасос (cryopump) — вакуумный насос, в котором откачиваемые газы либо конденсируются на поверхности, либо поглощаются адсорбирующим пористым материалом большой рабочей площади, охлажденным до сверхнизкой температуры (криотемпературы) (например, конденсационные и адсорбционные крионасосы).

Примечание. Термин «криотемпература» применяют для температуры ниже 120 К.

[ГОСТ Р 52615-2006 (ЕН 1012-2:1996) Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы]

Насос пароструйный (vapour jet pump) — вакуумный насос, в котором откачиваемые газы перемещаются за счет высокоскоростной струи пара, направленной в сторону выхода насоса.

[ГОСТ Р 52615-2006 (ЕН 1012-2:1996) Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы]

Вакуум (vacuum) — состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного.

Примечание. Давление измеряют в Паскалях (Па), миллибарах (мбар) или в миллиметрах ртутного столба 1 мбар =100 Па, 1 мм рт.ст. =133,322 Па.

[ГОСТ Р 52615-2006 (ЕН 1012-2:1996) Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы]

Вакуум — среда, в которой давление значительно ниже атмосферного, вследствие чего уменьшается образование оксидов до уровня, приемлемого для удовлетворительной пайки, благодаря низкому парциальному давлению окислителя.

Примечание. Подготовительная очистка смачиваемых поверхностей чрезвычайно важна, так как в вакууме может удалиться очень ограниченное количество оксидов.

[ГОСТ Р ИСО 857-2-2009. Сварка и родственные процессы. Словарь]

Вакуум (от лат. vacuum — пустота) — состояние газа при давлениях значительно более низких, чем атмосферное. Различают низкий вакуум, ему соответствует область давлений более 100 Па, средний (0,1– 100 Па), высокий (10–5–0,1 Па) и сверхвысокий (менее 10–5 Па). Понятие вакуум применимо к газу в откачанном объеме и в свободном пространстве — к космосу.

[Словарь терминов и определений по водоснабжению, водоотведению, газоснабжению. СОК №5 | 2011 https://www.c-o-k.ru/articles/slovar-terminov-i-opredeleniy-po-vodosnabzheniyu-vodootvedeniyu-gazosnabzheniyu]

Прогрев (warm-up) — нагрев вакуумной системы или отдельных ее частей с целью ускорения удаления ненужных веществ с их поверхностей.

[ГОСТ Р 52615-2006 (ЕН 1012-2:1996) Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы]

Вещества откачиваемые (substances being pumped) — вещества, поступающие в насос: газы, пары, аэрозоли и поднятые в воздух твердые частицы.

[ГОСТ Р 52615-2006 (ЕН 1012-2:1996) Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы]