Анализ выделяемых веществом газов (evolved-gasanalysis) — метод исследования объекта, основанный на регистрации измерения состава и/или количества выделяемого газа при нагревании объекта в зависимости от заданной температуры.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Томография атомно-зондовая (atom-probe tomography) — метод исследования объекта с помощью масс-спектрометра, основанный на регистрации отдельных атомов или молекул, вылетающих из импульсно распыляемого нано волокна  (исследуемого объекта).

Примечание. При исследовании объекта методом атомно-зондовой томографии применяют позиционно-чувствительный детектор, позволяющий определить координаты ударения ионов, с помощью которых рассчитывают изначальное положение атомов на поверхности нано волокна.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Масс-спектрометрия вторичных ионов; МСВИ (secondary-ion mass spectrometry; SIMS) — метод исследования объекта с помощью масс-спектрометра, основанный на регистрации совокупности распределенных в пространстве и/или во времени вторичных ионов объекта, разделенных по значениям отношения массы иона к его заряду, и возникающих при бомбардировке поверхности объекта потоком первичных ионов.

Примечание. МСВИ подразделяют на динамическую, применяемую для определения элементного состава нескольких слоев исследуемого объекта как функции глубины, и статическую, применяемую для элементного анализа поверхностного монослояисследуемого объекта (с целью предотвращения повреждения поверхности исследуемого объекта плотность потока первичных ионов должна быть не более 10 ионов/м.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия рентгеновская, энергодисперсионная (energy-dispersive X-ray spectroscopy) — метод исследования объекта, основанный на регистрации энергетических спектров отдельных фотонов и их числа и построении цифровой гистограммы, описывающей распределение интенсивности рентгеновского излучения по энергии фотонов.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Флуоресценция рентгеновская (X-ray fluorescence) — вторичное излучение, возникающее в результате облучения исследуемого объекта пучком высокоэнергетического рентгеновского излучения.

Примечание. Длина волны РФ является индивидуальной характеристикой конкретного элемента.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия рентгеновская, поглощения (X-ray absorption spectroscopy) — метод исследования объекта, основанный на определении зависимости коэффициента поглощения объектом рентгеновского излучения от энергии падающего на него излучения.

Примечания.

1. РСП применяют для получения информации о локальной атомной и/или электронной структуре исследуемого объекта.
2. РСП подразделяют на следующие виды: спектроскопию тонкой структуры рентгеновского спектра поглощения (СТСРСП), спектроскопию около пороговой структуры рентгеновского спектра поглощения (СОСРСП) и спектроскопию протяженной тонкой структуры рентгеновского спектра поглощения (СПТСРСП).

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия рентгеновская фотоэлектронная (X-ray photoelectron spectroscopy) —  метод исследования объекта с помощью электронного спектрометра, основанный на регистрации энергетических спектров фотоэлектронов и Оже-электронов , испускаемых с поверхности объекта, облученного рентгеновским излучением.

Примечание.  В лабораторных электронных спектрометрах для РФЭС рентгеновское излучение создается бомбардировкой мишени высокоэнергетическими электронами. Обычные материалы мишени — это магний (Mg) и алюминий (Al), обеспечивающие излучение фотонов с энергией 1253,6 и 1486,6 эВ соответственно. В настоящее время существуют электронные спектрометры, в которых используют мишени из других материалов. Также в РФЭС применяют источники синхротронного излучения.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия ультрафиолетовая фотоэлектронная (ultraviolet photoelectrons pectroscopy) — метод исследования объекта с помощью электронного спектрометра, основанный на регистрации энергетических спектров фотоэлектронов, испускаемых с поверхности объекта, облученного ультрафиолетовым излучением.

Примечание. В лабораторных электронных спектрометрах для УФЭС в качестве источника ультрафиолетового излучения используют газоразрядные лампы, чаще всего гелиевые. В этих источниках, в зависимости от давления газа и тока разряда, генерируется одна из двух интенсивных линий с энергией фотонов 21,2 эВ (He I) и 40,8 эВ (He II). Также в УФЭС применяют источники синхротронного излучения.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Оже-спектроскопия электронная (Auger electron spectroscopy) — метод исследования объекта с помощью электронного спектрометра, основанный на регистрации энергетических спектров Оже-электронов, испускаемых с поверхности объекта.

Примечание. В ЭОС в качестве ионизирующего излучения используют электронные пучки с энергией от 2 до 30 кэВ. В ЭОС объект также облучают ионами или применяют рентгеновское излучение. В случае применения в ЭОС рентгеновского излучения энергию Оже-электронов отсчитывают относительно уровня Ферми, а при применении электронного пучка — уровня Ферми или уровня вакуума. В ЭОС регистрируют энергетические спектры Оже-электронов и осуществляют дифференцирование электрическими методами непосредственно в процессе записи спектров.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Оже-электрон (Augerelectron) — электрон, покидающий атом под действием ионизирующего излучения и высвобождающий место (вакансию) на одной из его внутренних оболочек.

Примечание. Энергия Оже-электрона характерна для конкретного элемента. Анализ энергии Оже-электронов позволяет определить элементный состав исследуемых объектов.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]