Масс-спектрометрия вторичных ионов; МСВИ (secondary-ion mass spectrometry; SIMS) — метод исследования объекта с помощью масс-спектрометра, основанный на регистрации совокупности распределенных в пространстве и/или во времени вторичных ионов объекта, разделенных по значениям отношения массы иона к его заряду, и возникающих при бомбардировке поверхности объекта потоком первичных ионов.

Примечание. МСВИ подразделяют на динамическую, применяемую для определения элементного состава нескольких слоев исследуемого объекта как функции глубины, и статическую, применяемую для элементного анализа поверхностного монослояисследуемого объекта (с целью предотвращения повреждения поверхности исследуемого объекта плотность потока первичных ионов должна быть не более 10 ионов/м.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия рентгеновская, энергодисперсионная (energy-dispersive X-ray spectroscopy) — метод исследования объекта, основанный на регистрации энергетических спектров отдельных фотонов и их числа и построении цифровой гистограммы, описывающей распределение интенсивности рентгеновского излучения по энергии фотонов.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Флуоресценция рентгеновская (X-ray fluorescence) — вторичное излучение, возникающее в результате облучения исследуемого объекта пучком высокоэнергетического рентгеновского излучения.

Примечание. Длина волны РФ является индивидуальной характеристикой конкретного элемента.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия рентгеновская, поглощения (X-ray absorption spectroscopy) — метод исследования объекта, основанный на определении зависимости коэффициента поглощения объектом рентгеновского излучения от энергии падающего на него излучения.

Примечания.

1. РСП применяют для получения информации о локальной атомной и/или электронной структуре исследуемого объекта.
2. РСП подразделяют на следующие виды: спектроскопию тонкой структуры рентгеновского спектра поглощения (СТСРСП), спектроскопию около пороговой структуры рентгеновского спектра поглощения (СОСРСП) и спектроскопию протяженной тонкой структуры рентгеновского спектра поглощения (СПТСРСП).

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия рентгеновская фотоэлектронная (X-ray photoelectron spectroscopy) —  метод исследования объекта с помощью электронного спектрометра, основанный на регистрации энергетических спектров фотоэлектронов и Оже-электронов , испускаемых с поверхности объекта, облученного рентгеновским излучением.

Примечание.  В лабораторных электронных спектрометрах для РФЭС рентгеновское излучение создается бомбардировкой мишени высокоэнергетическими электронами. Обычные материалы мишени — это магний (Mg) и алюминий (Al), обеспечивающие излучение фотонов с энергией 1253,6 и 1486,6 эВ соответственно. В настоящее время существуют электронные спектрометры, в которых используют мишени из других материалов. Также в РФЭС применяют источники синхротронного излучения.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия ультрафиолетовая фотоэлектронная (ultraviolet photoelectrons pectroscopy) — метод исследования объекта с помощью электронного спектрометра, основанный на регистрации энергетических спектров фотоэлектронов, испускаемых с поверхности объекта, облученного ультрафиолетовым излучением.

Примечание. В лабораторных электронных спектрометрах для УФЭС в качестве источника ультрафиолетового излучения используют газоразрядные лампы, чаще всего гелиевые. В этих источниках, в зависимости от давления газа и тока разряда, генерируется одна из двух интенсивных линий с энергией фотонов 21,2 эВ (He I) и 40,8 эВ (He II). Также в УФЭС применяют источники синхротронного излучения.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Оже-спектроскопия электронная (Auger electron spectroscopy) — метод исследования объекта с помощью электронного спектрометра, основанный на регистрации энергетических спектров Оже-электронов, испускаемых с поверхности объекта.

Примечание. В ЭОС в качестве ионизирующего излучения используют электронные пучки с энергией от 2 до 30 кэВ. В ЭОС объект также облучают ионами или применяют рентгеновское излучение. В случае применения в ЭОС рентгеновского излучения энергию Оже-электронов отсчитывают относительно уровня Ферми, а при применении электронного пучка — уровня Ферми или уровня вакуума. В ЭОС регистрируют энергетические спектры Оже-электронов и осуществляют дифференцирование электрическими методами непосредственно в процессе записи спектров.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Оже-электрон (Augerelectron) — электрон, покидающий атом под действием ионизирующего излучения и высвобождающий место (вакансию) на одной из его внутренних оболочек.

Примечание. Энергия Оже-электрона характерна для конкретного элемента. Анализ энергии Оже-электронов позволяет определить элементный состав исследуемых объектов.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектроскопия характеристических потерь энергии электронами; СХПЭЭ (electron energy loss spectroscopy; EELS) — метод исследования объекта с помощью электронного спектрометра, основанный на регистрации энергетических спектров неупруго рассеянных электронов, испускаемых моноэнергетическим источником и потерявших фиксированные порции энергии в процессе взаимодействия с объектом.

Примечания.

1. Значения энергетических спектров электронов, полученные с помощью СХПЭЭ, будут близки к значениям, полученным с помощью электронной Оже-спектроскопии (ЭОС) или рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС), а пики характеристических потерь энергии электронов расположены вблизи пика упруго отраженных электронов.
2. Значения энергетических спектров неупруго рассеянных электронов зависят от энергии электронного пучка, угла его падения на поверхность исследуемого объекта, угла рассеяния электронов и свойств исследуемого объекта.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]

Спектрометр электронный (electron spectrometer) — устройство, предназначенное для определения числа электронов или регистрации их энергетических спектров в виде зависимости интенсивности электронного потока от кинетической энергии регистрируемых электронов.

Примечание. Термин «электронный спектрометр» может быть использован взамен термина «анализатор энергии электронов» или применен для понятия, обозначающего устройство, состоящее из нескольких узлов, включая анализатор энергии электронов и дополнительные функциональные электронно-оптические части. Термин «электронный спектрометр» также может быть применен для понятия, обозначающего измерительную систему (спектрометрическую установку), включающую анализатор энергии электронов, функциональные электронно-оптические части, источник возбуждения спектров излучения, электронный детектор, вакуумный насос, персональный компьютер с управляющей программой, обеспечивающей управление оборудованием, обработку и выдачу результатов измерений.

[ГОСТ Р 56647-2015/ISO/TS 80004-6:2013. Нано технологии. Часть 6. Характеристики нано объектов и методы их определения. Термины и определения]